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Model: SX-51

（真空chamber用）真空腔室使用

1.Wafer size (specify from 2”to 12”) 晶圓尺寸（從2吋到12吋）

2.Working Temperature Range 工作溫度范圍

3.Thermocouple Type (choose K, R, S, PL II) 熱電偶種類 （選擇K，R，S，PLII）

4.Number of Measuring Points 量測(cè)點(diǎn)數(shù)

5.Length of L1 and L3 L1 及L3的排線長度

6.Thermocouple Wire Diameter 熱電偶線徑              

7.Insulation for L1, L3 (choose from T, K, Q, C in the insulation table in previous page ) L1，L3的絕緣層種類（從說明中的絕緣層列表中選擇 T，K，Q，C）   

8.Feed Through Length, L2 饋通長度 L2

9.Connector Type (choose from Mini, U-Shape or D-Sub) 連接端子種類 （從Mini，U Shape, 或 D-Sub選擇） 

10.Calibration Requirement是否需出具校正報(bào)告